半導(dǎo)體冷水機(jī)的作用

半導(dǎo)體冷水機(jī)是指 應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域，如掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機(jī)組。

    半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)以及廣泛應(yīng)用，是隨著科技的不斷發(fā)展，現(xiàn)代超精密制造、加工、測量儀器對工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以光刻機(jī)為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備，其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足要求，同時(shí)投影物鏡的光刻質(zhì)量、運(yùn)動(dòng)部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此，環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項(xiàng)關(guān)鍵問題，而半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)正好解決了這一難題。

　半導(dǎo)體冷水機(jī)溫度控制系統(tǒng)是保證步進(jìn)掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設(shè)備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。